1.液環泵

雖然液（yè）環泵屬於粗真空（kōng）泵，但在（zài）中國的石油（yóu）、化工、電力、輕（qīng）紡、造紙、醫（yī）藥等領（lǐng）域仍（réng）然有著很（hěn）大的市場。在（zài）國（guó）外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網絡，不斷擴大在中國的市場份額（é）。由於液（yè）環泵大部分是鑄件，加工要求（qiú）也不（bú）高，屬勞動（dòng）密集型（xíng）產品，所以國產液環泵在價格上有競（jìng）爭優（yōu）勢，關鍵是要改進設計（jì），縮小體（tǐ）積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2.滑（huá）閥泵

由於滑（huá）閥泵比較耐用、可靠，國內外（wài）各（gè）種真空爐、鍍膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用（yòng）滑閥（fá）泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄（zhù）件重，加工工作量較大，所以國外各（gè）真空（kōng）廠（chǎng）都在中國尋（xún）找合作夥伴。為（wéi）了使國產滑閥泵能（néng）夠進入國際市場（chǎng），必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕（jué）噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

3.直聯旋片泵

隨著真空技術在各個應用領域的（de）不斷擴大，直聯旋片泵的（de）需求量越來越大。由於這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以（yǐ）有（yǒu）的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋（xuán）片（piàn）泵在技術上已經過關，價格又（yòu）遠比國外的泵便宜，所以國產泵（bèng）仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和（hé）真空泵油的性能質量問題，確（què）保直（zhí）聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國（guó）產（chǎn）直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家（jiā）羅茨泵的銷售額占（zhàn）全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計（jì）才20%，羅（luó）茨泵產量不大，但國外羅茨泵的（de）價格遠比國產泵要（yào）高得多。目（mù）前，國內外幾乎所有大（dà）型或小（xiǎo）型的高真空和中真空係統，為了縮短（duǎn）抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅（luó）茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國（guó）產羅茨泵的振（zhèn）動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改（gǎi）進泵的外觀質量，提高泵（bèng）內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。

目前，國內（nèi）氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上（shàng）已經成熟。由於這（zhè）種泵在排（pái）氣口的下麵裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵（bèng）腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要（yào）求，這種泵可以（yǐ）串聯使用，一般前麵加一（yī）台氣冷（lěng）式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由於在泵腔內沒有工作介質，實際（jì）上也（yě）是屬（shǔ）於幹泵。目前，這種氣冷式直排（pái）大氣（qì）羅茨（cí）泵及機組已經在（zài）石油、化工、塑（sù）料、農藥、汽（qì）輪（lún）機轉子動平衡、航（háng）空航天空（kōng）間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應（yīng）該在國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在國外半導體領域裏的許多工藝場合是用來代（dài）替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都（dōu）采用複合分子泵和牽引泵作為主泵。

由於分（fèn）子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四（sì）分之一，所以（yǐ）分子泵的排氣時（shí）間（jiān）比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵（bèng）的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷（lěng）板，稱之為低（dī）溫（wēn）分子泵，水蒸氣被低（dī）溫（wēn）板捕獲，其他氣體（tǐ）則由分（fèn）子泵抽走。這種低（dī）溫分子泵在真空鍍膜（mó）裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜（mó）層質量。隨著（zhe）中國（guó）半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速（sù）發展，分子泵應該是中國真空泵製（zhì）造業（yè）發（fā）展的重點。首（shǒu）先（xiān），分子泵（bèng）要從小到大建立完整係列，並研究開發各種複合分子泵、牽引泵和低溫（wēn）分子泵（bèng），以滿足不同場合的需要。

6.幹泵

國外幹泵市（shì）場（chǎng）的不斷增長，其主（zhǔ）要驅動來自（zì）於半導體行業、化學（xué）工業、薄膜產業的迅速發（fā）展。在日（rì）本，半導體行業已全部用幹（gàn）式真空（kōng）泵代替油封式機械泵，歐（ōu）美半導體行業45%以上用幹式真（zhēn）空泵代替了（le）油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質（zhì）量。為了滿足（zú）不同應用（yòng）領域和不同工況的要（yào）求，國外有多級羅茨真空泵（bèng）、多級（jí）爪式真空泵、螺杆式真空泵、渦旋式真空泵、往複式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3／h～500m3／h。據統（tǒng）計，目（mù）前國（guó）產幹泵的應用還（hái）不足1%，國內半導體工業用的幹泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，中國應大（dà）力研究開發幹泵，使（shǐ）幹泵成（chéng）為中國真空工業（yè）新的經濟增長點。