真空泵是一個量大麵廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套（tào）設備性能質量的必不（bú）可少的基礎產品。真（zhēn）空泵從高/超真空到粗/低真空，其產品大致可分14大類：

高/超（chāo）真空——低溫泵、分子泵、濺射離（lí）子（zǐ）泵、鈦升華泵、擴散泵。

中真空——幹泵、雙級（jí）旋片泵、羅（luó）茨泵、油增壓泵（bèng）、水蒸氣噴射泵。

粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往複式真（zhēn）空泵。

真空泵的市場（chǎng）根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的（de）主要（yào）驅動力來自於半導體工（gōng）業的迅速發展（zhǎn）以及幹泵和分子泵應用領域的（de）日益擴大。

目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7%左右。

我國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的（de）年銷售額大（dà）約（yuē）在1.5億元左右，僅相當（dāng）於美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的（de）分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都（dōu）在不斷變化和發展。我國真空泵製造業（yè）有著悠久的曆史和雄厚的基礎，國產真泵已（yǐ）經在各個（gè）不同領（lǐng）域得（dé）到應用（yòng）並經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可並受到好（hǎo）評，應該說（shuō）我（wǒ）國真（zhēn）空泵製造業在國內外市場仍（réng）然有著巨大的發展空間。

1.液環泵

雖然液環泵（bèng）屬於粗真空泵，但在（zài）我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍（réng）然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市（shì）場的14%，僅（jǐn）次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售（shòu）網絡，不斷擴大在（zài）我國的市場份額。由於（yú）液環泵大部分是鑄件，加（jiā）工要（yào）求也不高，屬勞動密集（jí）型產品，所以國產液環泵在價格上（shàng）有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮（suō）小體積，減輕重量，提高效率（lǜ），降低能耗。

2.滑閥泵

由於滑閥泵比較耐用、可靠（kào），國內外各種真空爐、鍍（dù）膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用滑閥泵（bèng）作為前級（jí）泵，但是滑閥泵鑄件（jiàn）重，加工工作量較大，所以國外（wài）各真空廠都在中國尋找合作（zuò）夥伴。為了使國產滑閥泵能夠進（jìn）入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕（jué）噴油和（hé）漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠（kào）性。

3.直聯旋片泵

隨（suí）著真空技術（shù）在（zài）各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越（yuè）大。由於這種泵數量很多，加工裝配工作（zuò）量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商（shāng）在中（zhōng）國建立專（zhuān）業廠（chǎng）。國產中小型直聯旋片泵在技術（shù）上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢（shì），關（guān）鍵是（shì）要解決軸封漏油（yóu）以（yǐ）及旋片材料和真空泵油的性能質量問題（tí），確保直聯泵在高速、高溫下性（xìng）能穩定和運行（háng）可靠，同時還要進一步提高國（guó）產直聯旋片泵抽除水蒸氣的（de）能力。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨（cí）泵（bèng）銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的（de）價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空係統，為了縮短抽氣（qì）時間、提高生產效率都配有（yǒu）羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一（yī）步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹（chè）底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高（gāo）泵內的（de）光（guāng）潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國（guó）家和地區的電（diàn）源頻率為60Hz，更要（yào）確保羅茨（cí）泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。

目（mù）前（qián），國內氣冷式直排大氣（qì）羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由於這種泵在排氣口的下麵裝有（yǒu）氣體冷卻器，其中一部分被冷卻（què）的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡（héng），所以這種（zhǒng）泵可以直排大（dà）氣。為了滿足不同極限真空度的要（yào）求，這種泵可以串聯使用，一般前麵加一台氣冷式直排（pái）大氣羅茨泵，所達到（dào）的極限真空要比前級泵（bèng）高一個數量（liàng）級。這種泵（bèng）由於（yú）在泵腔內沒有（yǒu）工作介質，實際上也是屬於幹泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組（zǔ）已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平（píng）衡、航空（kōng）航天空間模擬等裝置上得到了長期運行（háng）的考（kǎo）驗，所（suǒ）以應該在（zài）國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在國外（wài）半（bàn）導體領域裏的許多工藝場合是（shì）用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和（hé）LCVD等裝置都彩複（fù）合分子泵和牽引泵作為主泵。

由於分子泵對水蒸氣的（de）抽速（sù）僅為同（tóng）口徑低溫泵抽速的（de）四分之一，所以分子泵的排氣時（shí）間比（bǐ）低溫泵長。為了提高（gāo）抽（chōu）速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空（kōng）鍍（dù）膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善（shàn）了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜（mó）產業和科學研究事（shì）業迅（xùn）速發展，分子泵應該是我國真空泵（bèng）製（zhì）造業發展的重點。首（shǒu）先，分子泵要從小到大建立（lì）完整（zhěng）係列，並研究開發各（gè）種（zhǒng）複合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需（xū）要。

6.幹泵

國外幹泵市場的不斷增長，其主要驅動來自於半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體（tǐ）行業已全部用幹式真空泵代替油封式機械泵，歐美半（bàn）導體行業45%以上用幹式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高（gāo）了產品的性能（néng）和質量。為了滿足不（bú）同應用領域和不同工況（kuàng）的要求，國外（wài）有多（duō）級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺杆（gǎn）式真空泵、渦旋式真空泵、往（wǎng）複式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國產（chǎn）幹（gàn）泵的應用還不足1%，國內半導體工業用的幹泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以（yǐ），我國應大力研究開發幹泵，使幹泵成為我國真空工（gōng）業新的經濟增（zēng）長點。